單晶硅棒是通過直拉法(CZ法)或區熔法(FZ法)制備的高純度硅晶體材料,具有完美的原子排列結構。這種圓柱形晶錠的直徑通常在150-300mm之間(6-12英寸),長度可達2米以上,是半導體和光伏產業的核心原材料。需要重點關注的是,其晶格缺陷少于百萬分之一,特別是氧含量控制在5×101? atoms/cm3以下,這種極高的純度確保了優異的電學性能。
在制造過程中,多晶硅原料在石英坩堝中熔化后,通過精密控制的溫度梯度(誤差±0.1℃)和旋轉速度(5-20rpm)緩慢提拉形成單晶結構。所得硅棒的電阻率范圍涵蓋0.001-100Ω·cm(可摻雜硼或磷),能夠滿足不同電子器件的需求。目前主流規格包括Φ200mm(8英寸)和Φ300mm(12英寸),最新研發的450mm(18英寸)硅棒正在產業化突破階段。
單晶硅棒的主要應用集中在兩個領域:在半導體行業經過切片、拋光后制成晶圓(厚度150-775μm),用于制造CPU、存儲器等集成電路;在光伏領域則加工成156×156mm規格的硅片(厚度180-200μm),最終組裝成太陽能電池組件。值得注意的是,光伏級單晶硅棒通常采用改良西門子法提純,純度達到6N(99.9999%)即可,而電子級則要求11N(99.999999999%)以上純度。
隨著技術的進步,單晶硅棒的生長速度已提升至1.2-1.8mm/min(較十年前提高30%),同時單位能耗降低至45kWh/kg以下。最新研發的連續加料技術(CCz)能實現72小時不間斷生長,單爐產量突破800kg,這些創新顯著降低了半導體和光伏產品的生產成本。未來,隨著大尺寸、低缺陷硅棒制備技術的突破,其在高性能計算和高效光伏領域的應用將更加廣泛。