三氯氫硅作為多晶硅生產的關鍵原料，其礦場分布與工業硅產能密切相關。全球主要產區集中在中國、美國和歐洲，其中新疆、云南等地的硅石礦（SiO?含量＞99%）通過電弧爐冶煉后形成工業硅，再經過氫氯化工藝轉化為三氯氫硅。需要重點關注的是內蒙古、寧夏等西北地區，這些區域依托低廉電價和豐富石英砂資源，形成了完整的"硅礦-工業硅-三氯氫硅"產業鏈。

在海外布局方面，美國西弗吉尼亞州和挪威奧斯陸周邊擁有成熟的三氯氫硅生產基地，采用改良西門子法（反應溫度300-500℃）進行規模化生產。德國瓦克化學在博格豪森的工廠則通過流化床工藝（FBR法）實現了更高純度（電子級≥99.9999%）產品的制備。值得注意的是，這些海外企業通常采用上下游一體化模式，從石英巖開采到最終產品封裝形成閉環。

隨著光伏行業需求激增，新興產區如馬來西亞關丹工業園區、越南廣寧省近年也建設了配套三氯氫硅設施。這些項目多采用中國轉移的改良技術，利用當地豐富的硅砂資源（儲量超10億噸）和港口優勢，產品主要供應東南亞太陽能電池片制造商。未來產業布局可能向非洲莫桑比克等石英礦富集區延伸，但受制于氯堿配套不足，短期仍以基礎硅料出口為主。